6月15日消息，近日隨著上海復工復產的快速推進，東方晶源積極組織設備交付工作，旗下電子束缺陷檢測(EBI)和關鍵尺寸量測(CD-SEM)兩臺設備已順利交付上海客戶。此次出機，是東方晶源繼電子束量測檢測設備出機國內知名晶圓代工廠后，再次贏得頭部客戶的青睞和認可。同時，標志著東方晶源硬件產品開啟批量交付模式。

據悉本次出機的電子束缺陷檢測設備型號為SEpA-i515，面向300mm硅片工藝制程，除具備該系列產品慣有的高靈敏度電性和物理缺陷檢測、有效解決28nm及以上良率問題、自主創新的高性能缺陷檢測引擎(DNA數據庫)、基于深度學習的缺陷自動分類(ADC)算法等產品特點外，東方晶源研發團隊還在上一代產品的基礎上優化升級，使SEpA-i515具有更高的TPT和更優的平臺設計，設備運行效率、性能指標均有大幅提升。值得一提的是，上一代產品SEpA-i505 已經在國內頭部晶圓代工廠量產一年，產品性能及穩定性得到充分驗證。

另一臺交付的產品為關鍵尺寸量測設備，型號為SEpA-c410，面向300mm硅片工藝制程，通過先進的電子束成像系統和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現高重復精度、高分辨率及高產能的關鍵尺寸量測。該設備自去年6月底進入國內頭部晶圓代工廠以來產線驗證進展順利，階段性驗收成果獲得客戶認可，正在積極推進產線驗證。

東方晶源電子束量測檢測設備，依托所承擔的國家科技重大專項(02專項)——電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發與產業化項目，經過數年攻堅克難，突破多項核心關鍵技術，從零部件到整機設計制造，均具有完全自主知識產權，填補國內空白。目前，兩款設備開啟批量交付模式，產業化進程取得豐碩成果。此次設備交付的客戶所在地上海在我國集成電路產業具有舉足輕重的地位，目前已經成為國內集成電路產業綜合水平高、產業鏈完整、產業生態環境好的集聚地之一。東方晶源十分看重在上海的發展和布局，繼計算光刻軟件(OPC)進入上海頭部晶圓代工企業后，硬件產品正式登陸上海。為更好的服務以上海為核心的長三角客戶，東方晶源已于去年8月份在上海設立子公司，形成北京總部、深圳子公司和上海子公司為核心的三地布局，推動企業貼近產業前沿高地，為集成電路制造企業帶去優質的產品和服務，更好的與上下游企業攜手推動產業發展的同時，構筑企業自身競爭壁壘。

東方晶源自成立以來，專注于芯片制造關鍵環節的良率控制和提升領域，形成以計算光刻軟件(OPC)、電子束量測檢測裝備硬件為核心的產品矩陣，并向更多相關領域積極布局。硬件方面，東方晶源已著手電子束缺陷復檢設備DR-SEM(Defect Review SEM)的研發工作，進一步夯實在國內電子束檢測領域領先的市場地位和核心技術優勢。軟件方面，光刻工藝嚴格仿真軟件PanSim已經在客戶側進行驗證，預計7月底release V1.0版本。未來，東方晶源將立足通用軟件平臺和檢測裝備兩大領域，尋求橫縱向發展機遇，為客戶提供更加多樣化的產品，向著國內集成電路領域良率管理領導者的目標奮進。

關鍵詞： 東方晶源