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晶瑞電材:ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)

2021-12-16 11:31:06來(lái)源:愛(ài)集微

12 月 16 日消息,集微網(wǎng)消息,近日,晶瑞電材在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示,公司高端 KrF(248)光刻膠已完成中試,建成了中試示范線,已進(jìn)入客戶測(cè)試階段。

目前 ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng),已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺(tái)階儀等設(shè)備購(gòu)置,其中 ASML1900Gi 型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時(shí)公司正在積極開展對(duì)上游材料樹脂單體及配方的研究。

據(jù)悉,晶瑞電材近期已購(gòu)得 KrF 光刻機(jī)一臺(tái),可用于 KrF 光刻膠的曝光測(cè)試,同時(shí)公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前,公司已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠、g 線、i 線、ArF 等 4 臺(tái)光刻機(jī),再加之此次購(gòu)得的 KrF 光刻機(jī),公司已經(jīng)到位 5 臺(tái)光刻機(jī)。

晶瑞電材指出,公司 3 萬(wàn)噸電子級(jí)硫酸產(chǎn)線已于今年上半年順利通車,經(jīng)試生產(chǎn)調(diào)試,產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量低于 10ppt,達(dá)到 G5 級(jí)水平,品質(zhì)已達(dá)全球同行業(yè)第一梯隊(duì)水平,產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以履蓋目前全部先進(jìn)集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求。目前,公司正在積極開展客戶論證測(cè)試,市場(chǎng)反應(yīng)良好。現(xiàn)有 3 萬(wàn)噸硫酸項(xiàng)目的順利建設(shè)為二期 6 萬(wàn)噸硫酸項(xiàng)目的順利實(shí)施提供了基礎(chǔ)和保障。二期 6 萬(wàn)噸電子級(jí)硫酸項(xiàng)目已啟動(dòng),項(xiàng)目的建設(shè)期為 12 個(gè)月,當(dāng)前已取得環(huán)評(píng)審批。

新能源方面,晶瑞電材認(rèn)為,公司是一家微電子材料的平臺(tái)型高新技術(shù)企業(yè),圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個(gè)方向,努力打造為集研發(fā)、生產(chǎn)、檢測(cè)、銷售、技術(shù)支持于一體的國(guó)際知名微電子化學(xué)品制造企業(yè),公司鋰電池材料主要產(chǎn)品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、電解液等。當(dāng)前公司鋰電池材料產(chǎn)品產(chǎn)銷兩旺,根據(jù)公司戰(zhàn)略發(fā)展規(guī)劃,為進(jìn)一步推進(jìn)公司產(chǎn)能布局,滿足市場(chǎng)迫切需求,鞏固行業(yè)領(lǐng)先地位,公司全資子公司晶瑞新能源擬使用自籌資金投資建設(shè)年產(chǎn) 5 萬(wàn)噸 NMP 項(xiàng)目。

目前,晶瑞(湖北)微電子材料項(xiàng)目一期目前正在設(shè)備安裝調(diào)試階段。

受益于我國(guó)半導(dǎo)體材料行業(yè)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程提速,下游芯片廠商需求增長(zhǎng),當(dāng)前公司主導(dǎo)產(chǎn)品半導(dǎo)體級(jí)光刻膠及配套材料、超凈高純?cè)噭囯姵夭牧系犬a(chǎn)銷兩旺,未來(lái)隨著公司 KrF 光刻膠測(cè)試完成并逐步量產(chǎn)、ArF 光刻膠研發(fā)成功并最終量產(chǎn),以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放,有望成為公司新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)。

未來(lái),公司將持續(xù)發(fā)揮主營(yíng)業(yè)務(wù)的優(yōu)勢(shì),圍繞泛半導(dǎo)體和新能源材料方向,繼續(xù)通過(guò)內(nèi)生增長(zhǎng)和外延并購(gòu),將公司打造成產(chǎn)品種類全、技術(shù)水平高,具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的微電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)。關(guān)于并購(gòu)方向,公司依然圍繞主營(yíng)業(yè)務(wù)開展。

關(guān)鍵詞: 研發(fā) 工作 啟動(dòng)

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